包括單通道轉(zhuǎn)子流量計、多通道轉(zhuǎn)子流量計、氣體質(zhì)量流量計、液體體積流量計和體積流量計、渦街/渦輪流量計等。
熱式氣體質(zhì)量流量計的測量原理
通過層流裝置及毛細管、傳感器共同組成熱式質(zhì)量流量計的測量核心，即使環(huán)境溫度改變，仍能保證其測量精度。與測定體積型的流量計相反，熱式質(zhì)量流量計不需要附帶溫度和壓力感應(yīng)器就能正確測量流量。這就意味著裝置的簡單和費用的節(jié)約層流元件 **產(chǎn)品層流組件是一個蝕刻有流量通槽的高精密度的不銹鋼的圓盤。每個蝕刻流量通槽和感應(yīng)器管是相對應(yīng)的，并且每個圓盤表示一個固定的流量容量;若干圓盤被堆積在一起就組成層流裝置。層流裝置的設(shè)計確保了流量在感應(yīng)器管和主管線之間是成比例的。甚至在改變了的過程狀態(tài)下，仍可維持它的校正關(guān)系。
校正
每個儀器都是在可能的實際工作的環(huán)境下校準的，很多標準氣體也是可以獲得的。通過層流裝置強行將介質(zhì)成一定比例的分配到旁路的毛細管中,與傳感器組成測量核心，使測量值受外部環(huán)境影響的變化盡可能小。
技術(shù)參數(shù)：
各種給規(guī)格的流量計：包括單通道轉(zhuǎn)子流量計、多通道轉(zhuǎn)子流量計、氣體質(zhì)量流量計、液體體積流量計和體積流量計等。
流速2~58 L/min
精度：滿量程的±1%（包括線性）
重復(fù)性：滿刻度的±1%
工作環(huán)境溫度121°C
接口尺寸3/8英寸
輸出：電壓直流 0 到 5 V ；電流輸出4-20mA
直流電源 12 到 24V